半導体用語集
イオンビーム
英語表記：ion beam
無秩序状態のイオンを制御して得られる方向性の整ったイオンの流れ。中性の原子、または分子が電子を失いイオン化された状態では、それぞれのイオンは方向性を持たない無秩序な動きをしている。
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