カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
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- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
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- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
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- 熱電対/パイロメータ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- ヒータ(蒸着装置向け)
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- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
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- 真空ロボット
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- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
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- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
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- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
FIB-SEM装置Helios5 DualBeamの導入
最新型集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)サーモフィッシャーサイエンティフィック製Thermo Scientiffic DualBeam装置Helios 5 CXを導入しました
走査型電子顕微鏡の高分解能イメージングおよび集束イオンビームのミリング機能を兼ね備えており、高品質な表面下解析と3D解析が可能です。
元素分析装置(EDS)も付属しているため検出元素の3D解析も行えます。
基本情報
本装置を使用して以下サービスを行います。
・0.1μm程度の対象物に関して狙って断面を作製
正確な位置でのTEM観察用薄片試料の作製が行えます
・回路修正を目的としたFIBによるICおよびLSIの配線修正
配線の切断、配線の接続、特性評価用のプロービング PADの作製等を短納期で実施します
・表面からでは判別が難しい試料内部に存在する異常個所を特定
自動で断面を連続で作製し、断面写真を取得し異常個所を特定します。
・ナノレベルの高精度加工
集束イオンビームのエッチング加工を用いて、Si基板にナノレベルの高さ制御加工を実施
本装置や技術について詳しく知りたいときは以下公式HPをご覧ください。
https://www.seiko-sfc.co.jp/fib-service.html
分析および加工の依頼やご相談などがあればお気軽にお問い合わせください。
●お問い合わせフォーム:https://www.seiko-sfc.co.jp/contact/form01.html
●メール:sfc-tr1@seiko-sfc.co.jp
●電話番号:047-391-2298
カタログ
取扱企業
セイコーフューチャークリエーション株式会社
業種:試験・分析・測定 所在地:千葉県 松戸市高塚新田 563
セイコーフューチャークリエーション株式会社は受託分析、研究開発、生産技術、FAシステムを中核とした事業を行っています。お客様の課題解決に向けた各種サービスを提供します。
受託分析サービスに関しては時計やICを主とした豊富な分析経験から、特に微小な部品が得意分野です。
集束イオンビーム装置(FIB)を使った微細加工、走査型プローブ顕微鏡(AFM)他による微小部形態観察、示差走査熱量計(DSC)による材料性質の分析などナノレベルの微細加工技術と分析・解析技術でお客様の課題解決に取り組みます。
※セイコーフューチャークリエーション株式会社は2022年7月1日にセイコーアイ・テクノリサーチ株式会社から社名を変更いたしました。
FIB-SEM装置Helios5 DualBeamの導入 へのお問い合わせ
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FIB-SEM装置Helios5 DualBeamの導入