カテゴリー

FIB-SEM装置Helios5 DualBeamの導入

セイコーフューチャークリエーション株式会社
最終更新日: 2023年07月06日

最新型集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)サーモフィッシャーサイエンティフィック製Thermo Scientiffic DualBeam装置Helios 5 CXを導入しました

走査型電子顕微鏡の高分解能イメージングおよび集束イオンビームのミリング機能を兼ね備えており、高品質な表面下解析と3D解析が可能です。
元素分析装置(EDS)も付属しているため検出元素の3D解析も行えます。

基本情報

本装置を使用して以下サービスを行います。
・0.1μm程度の対象物に関して狙って断面を作製
正確な位置でのTEM観察用薄片試料の作製が行えます
・回路修正を目的としたFIBによるICおよびLSIの配線修正
配線の切断、配線の接続、特性評価用のプロービング PADの作製等を短納期で実施します
・表面からでは判別が難しい試料内部に存在する異常個所を特定
自動で断面を連続で作製し、断面写真を取得し異常個所を特定します。
・ナノレベルの高精度加工
集束イオンビームのエッチング加工を用いて、Si基板にナノレベルの高さ制御加工を実施

本装置や技術について詳しく知りたいときは以下公式HPをご覧ください。
https://www.seiko-sfc.co.jp/fib-service.html

分析および加工の依頼やご相談などがあればお気軽にお問い合わせください。
●お問い合わせフォーム:https://www.seiko-sfc.co.jp/contact/form01.html
●メール:sfc-tr1@seiko-sfc.co.jp
●電話番号:047-391-2298

お問い合わせ

カタログ

FIB-SEM装置Helios5 DualBeamを導入

取扱企業

セイコーフューチャークリエーション株式会社

業種:試験・分析・測定  所在地:千葉県 松戸市高塚新田 563

セイコーフューチャークリエーション株式会社は受託分析、研究開発、生産技術、FAシステムを中核とした事業を行っています。お客様の課題解決に向けた各種サービスを提供します。

受託分析サービスに関しては時計やICを主とした豊富な分析経験から、特に微小な部品が得意分野です。
集束イオンビーム装置(FIB)を使った微細加工、走査型プローブ顕微鏡(AFM)他による微小部形態観察、示差走査熱量計(DSC)による材料性質の分析などナノレベルの微細加工技術と分析・解析技術でお客様の課題解決に取り組みます。

※セイコーフューチャークリエーション株式会社は2022年7月1日にセイコーアイ・テクノリサーチ株式会社から社名を変更いたしました。

FIB-SEM装置Helios5 DualBeamの導入 へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

FIB-SEM装置Helios5 DualBeamの導入