半導体用語集
スプリンクラー設備
英語表記：sprinkler system
火災による熱気を天井に配列した感知装置組込み形放水ヘッドが感知し、自動的に圧力水を雨滴状に放出する一般火災向けの固定式自動火災消火設備。非火災時の不時散水による被害を防ぐため、半導体製造区域では、予作動式が多用されている。この予作動式は次の特徴を持っている。加圧送水装置から流水検知装置である予作動弁までは加圧送水装置の締切圧で充分加圧されており、それ以降ヘッドまでは圧縮空気で加圧されている。ヘッドと火災感知用の熱感知器の両方を天井面に設置し、予作動弁はこの感知器の感熱動作により解放する。このため、ヘッドの損傷があって放水口が開いても感知器が動作しなければ散水は起らず、また逆に、感知器が誤作動して予作動弁が作動しても、閉鎖型ヘッドが解放しなければ散水は起こらない。
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