半導体用語集
ライトインテグレータ
英語表記：light integrator
複数の小型レンズを二次元に配置（ハエの目レンズ）したレンズ。光源を楕円鏡等により集光した位置に配置することにより、光源像を分割し、レチクル上で重ねることにより、照度むらをなくすレンズ。
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