半導体用語集

ライトインテグレータ

英語表記:light integrator

複数の小型レンズを二次元に配置(ハエの目レンズ)したレンズ。光源を楕円鏡等により集光した位置に配置することにより、光源像を分割し、レチクル上で重ねることにより、照度むらをなくすレンズ。


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