半導体用語集
変形照明 斜入射照明
英語表記：modified illumonation oblique incidence illunination
光露光装置において、光学系の光軸上にない絞りを入れ、レチクルに露光光束を斜め入射させる照明法。レチクルにより回折した0次光と＋1次あるいは－1次光のみで露光することで、解像度とDOFを向上させる。絞り形状により輪帯照明、四重極照明などとも呼ぶ。
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