半導体用語集
乾式排ガス処理装置
英語表記：dry type exhaust gas abatement equipment
水分の補給を必要としない吸着材を用いて、半導体製造装置などから排出される有害ガスを無害化する装置。水分が必要でないため乾式と呼ばれる。燃焼式や分解式を乾式と呼ぶこともある。
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