半導体用語集
バルブマニホールドボックスガス供給制御装置
英語表記：gas supplying system
半導体製造装置に対して、種々の材料ガスの供給量を設定値に保つための装置。主に圧力および流量を制御し、さらにガスの混合を行う場合もある。マスフローコントローラ、切換弁、レギュレータ、半導体圧力センサ、フィルタなどをパネルボックスに収納して用いる。
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