半導体用語集
側壁保護膜
英語表記：sidewall protection film
被エッチング膜の側壁に形成される、レジスト分解物や反応生成物から成る保護膜。被エッチング膜の側壁を入射イオン、ラジカルから保護することで、エッチング形状の制御が可能となる。また、異方性形状が得られるマージンを拡大させるため、レジストからの分解物/反応生成物以外に、添加ガスを用い側壁保護膜の形成を促進させることもある。
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