半導体用語集
粗じん用エアフィルタ
英語表記：coarse particle air filter
主として5μmより大きい粒子の除去に用いるエアフィルタ。一般に空気流に対して一番上流に設置されるプレフィルタとして用いられ、洗浄することにより再使用可能な種類もある。
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