半導体用語集

MCL

英語表記:metal contamination level

シリコンウェーハの表面金属汚染量を表す単位の一つであり、シリコンウェーハの単位面積当たりに存在する金属不純物の原子数で表す。(1MCL=1010atoms/cm2)また表面金属汚染量の概念を表す用語として使用することもある。


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