半導体用語集
ノックオン
英語表記：knock on
注入されたイオンと基板原子との核衝突が起こると、基板原子の熱振動を励起させたり、変位エネルギー以上のエネルギーを基板原子に与えることによって、格子点から変位 (displacement) させる、 あるいは格子点からたたき出す(ノックオン; knock on、または反跳; recoil)ことが起こる。人射したイオンとの衝突発生したノックオン原子の運動エネルギーが大きいと、その原子がさらに別の原子を跳ね飛ばすという、二次・三次・・・・の衝突が次々と起こる。このような連鎖的な衝突をカスケード衝突(cascade collision)という。ノックオン原子が抜けた場所は空孔 (vacancy) となり、ノ ックオン原子は格子間原子(interstitial)となる。これらの空孔や格子間原子は熱振動で移動し、再結合して消滅したり、転位やポイドを形成する。
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