半導体用語集
ホットゾーンパーツ 加熱構成部品
英語表記：hot zone parts
結晶成長の温度場をつくりだすための構造物。チョクラルスキー法では加熱体と保温部品で構成され、加熱体はグラファイトヒータ、保温部品にはグラファイトるつぼや熱シールドなどの部品がある。これら部品は、多くの場合、断熱性、保温性や機械強度に優れる黒鉛が用いられる。材料の熱物性と組み立て構造は結晶欠陥など品質を左右するパラメータである。
関連製品
「ホットゾーンパーツ 加熱構成部品」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ホットゾーンパーツ 加熱構成部品」に関連する用語が存在しません。
「ホットゾーンパーツ 加熱構成部品」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
