半導体用語集
光輝焼鈍管 BA管
英語表記:bright annealing pipe
引き抜き加工後にH2の還元雰囲気で熱処理された配管。一般のステンレス鋼管に比べて製造工程における皮革の生成が少なく、比較的平滑なため、微粒子の発生も軽減される。半導体製造用ガスの
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