半導体用語集
スワール
英語表記：swirl
成長縞の付近に発生する微小欠陥群。このような欠陥はスワール欠陥群とよばれている。円柱状結晶の周辺部に発生するものは結晶に含まれている微量の酸素の凝集によるものであることは明らかにされているが、中心部分を占めるものは酸素とか炭素などの不可避的に混入する微量不純物によるものか、高温で熱力学的に入った格子欠陥が冷却とともに凝集したものであるかは明確にされていない。
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