半導体用語集
TOC 全有機炭素
英語表記：total organic carbon
有機体炭素のこと。超純水中に含まれるTOCは、原水（天然水や回収処理水）に起因するもの、イオン交換樹脂、配管など使用部材からの溶出によるものなどがある。これらのTOCは、RO、UF装置、真空脱気塔、イオン交換樹脂、活性炭塔、UV酸化装置などで除去される。単位は、炭素濃度で表示する。（pgC/ ℓ）
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