半導体用語集
エアワッシャ
英語表記：air washer
ケーシングの中に複数のスプレーノズルを設けて水を噴霧し、空気を通過させて加湿・洗浄を行う装置。以前は、空気の加湿と空気中の塵埃の洗い落としが注目されていたが、最近では外気から半導体工場内へ侵入するケミカル汚染物質の内、それ自体が水溶性の物、塵埃に付着しているものを除去する性能に注目が集まっている。工場内の循環系に設備されることのあるケミカルエアフィルタとの兼ね合いで性能・コスト検討されることが多い。
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