半導体用語集
蛍光Ｘ線分光分析法 XRFS
英語表記：X-ray fluorescence spectroscopy
試料に高いエネルギーのＸ線を照射して励起すると、試料から蛍光Ｘ線が放射される。そのスペクトル線波長から試料中の元素が同定され、各線の強度から濃度を定量する方法。
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