半導体用語集
オリフラ整合装置
英語表記：orientation flat arrange equipment
カセット内のウェーハのオリフラを一方向に揃える装置。ウェーハ移載時のチャッキングを確実にするためや、処理装置内でのウェーハの位置決めをスムーズに行うために用いられる。
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