半導体用語集
グローバルプラナリゼーション
英語表記：global planarization
広い領域にわたって平坦化（プラナリゼーション）することをいう。一般的には、10ないし数10μmの領域におけるパターンの凸凹、段差が解消されている場合をグローバルプラナリゼーションという。このような定義を発展させて、最近ではチップレベル、あるいはウェーハレベルで段差を完全解消することをグローバルプラナリゼーションと称することが多い。これに対して、10μm以下の領域において、例えばパターンの粗密による段差のみが解消されている場合をローカルプラナリゼーション（局所的平坦化）という。
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