半導体用語集
スキャナ
英語表記：Scanner
スキャナは、ステッパから発展したフォトレジストの露光装置である。Step&Repeatする点はステッパと同じだが、レンズの直径部分を用いて、細長いゾーンをスキャンするので、露光面積がステッパより広く取れる。スキャナでは、マスクとウエハを露光中に同時に動かすので、振動対策に万全を期す必要がある。
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