半導体用語集
リチャージ法 マルチブリング法
英語表記：recharge CZ method multi pulling method
CZ法で、融液から結晶を引き上げたあと、原料多結晶を再度チャージし、溶融して、再び結晶を成長する工程をるつぼ劣化の範囲内で複数回繰り返す方法。
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