半導体用語集
減圧CVD装置 低圧CVD装置
英語表記：low pressure CVD system
反応室内が減圧（低圧）状態に保たれているCVD装置。特徴としてウェーハ表面で均一な反応が行われ、比較的ステップカバレージが良いことがあげられる。またそのための工夫も数々なされている。
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