半導体用語集
Linear Parabolicモデル
英語表記：Linear Parabolic model
熱酸化機構を説明するために提案されたDeal-Groveモデルによれば、Si02が薄い場合、酸化速度はSi02とSiとの界面における酸化反応が律速となり、酸化膜厚は酸化時間に比例する。すなわちリニアな関係となる。Si02が厚くなると、酸化速度はSi02 中の酸化剤の拡散が律速となって、 酸化膜厚の2乗が酸化時間に比例する。すなわちパラボリックな関係になる。このことから、Deal-GroveモデルをLinear Parabolicモデルと呼ぶこともある。
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