半導体用語集
プリディスペンス ダミーディスペンス プライムディスペンス
英語表記：pre-dispense dummy-dispense prime-dispense
スピン式処理装置において、レジスト、現像液などの薬液をウェーハに塗布する前に、前もって配管中の薬品を吐出し、新鮮な薬品と入れ替える動作。
関連製品
「プリディスペンス ダミーディスペンス プライムディスペンス」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「プリディスペンス ダミーディスペンス プライムディスペンス」に関連する用語が存在しません。
「プリディスペンス ダミーディスペンス プライムディスペンス」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
