半導体用語集
エレクトレットエアフィルタ
英語表記： electric air filter
恒久的に電荷を保持させた高分子繊維（エレクトレット）から成るエアフィルタ。繊維自身に荷電が与えられており、静電付着作用により、グラスファイバで構成される通常のHEPAフィルタに比較して、粒子捕集率が著しく向上する。
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