半導体用語集
エッジセンサ
英語表記：edge sensor
測定しようとしているチップが、ウェハ上にあるかどうか検出するためのセンサで、通常のプローブ針に接点を持たせたもの。フルオートプローバは，エッジコレクション機能があるため、このセンサがなくても問題ない。また、静電容量センサによってウェハのエッジや，ウェハのだれを認識しない場合（セミオートプローバやマニュアルプローバには容量センサがついていない場合がある）、アダプティブz（ウェハ測定時に、各パッドにかかるプローブ針の針圧をウェハのどの部分でも一定に保つ機能）を行うためにも使われることがある。エッジセンサは、カード部に取りつけられており、針がウェハと接触するとセンサが働く（閉→開）ようになっている。
アダプティブzの動作…接触してからある量 z upすることによってウェハ全域に対して同じ針圧をえることができる。この方式の欠点は接触する点を求めるためのz軸のスピードを遅くする必要があることである。そのためスループットが落ちる、振動が増えるなどの問題がある。またエッジセンサ自体の信頼性が低いため、実際にはあまり使われていない。
エッジコレクションの動作…z upしてもエッジセンサが働かなければカードの下にはウェハがない、つまり、ウェハのエッジとして認識できる。エッジセンサは、またプロファイラと呼ばれることもある。
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