半導体用語集
清浄度管理
英語表記：cleanliness control
クリーンルーム内の何カ所かの位置で、パーティクルカウンタを用いて連続的あるいは一定時刻に浮遊粒子数を測定し、クリーンルームの清浄度を常時管理するシステム。清浄度が低下したときは換気回数の変更、入室者数の制限などの対策を施す。
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