半導体用語集
光励起アッシング装置
英語表記：photo excited ashing system
アッシング室中に反応性ガスを導入し、紫外線などの光をガス又はウェーハに照射し、反応性ガスとレジストとの化学反応を促進させながらアッシングを行う装置。
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