半導体用語集

現像装置

英語表記:developer

レジスト処理装置の中で、ウェーハ上に塗布されたレジストにパターンを露光した後、現像するための装置。処理の仕方により、スピン式、ディップ式、スプレー式に分類される。


関連製品

「現像装置」に関連する製品が存在しません。

関連用語

関連特集

「現像装置」に関連する特集が存在しません。




会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。