半導体用語集
電界イオン水洗浄
英語表記：electrolytic ionized water
純水または微量の薬品を含む水に電解を行って液質を変化させて洗浄に使用する方法。水のアノード電解では酸素、カソード電界では水素が発生し、液中に溶存する。このため、メガソニック洗浄との組み合わせでラジカルの発生が起こり、洗浄効果が向上する。塩酸のアノード電解ではC1イオンがHCIOイオンに変化して酸化性が増すため、少量の塩酸で高い金属汚染の除去効果が得られる。このように、電解を利用することで洗浄液の性能を高め、使用する薬品量を低減できる。超純水の電解では、比抵抗が高く電解がかかりにくいため、イオン交換膜やイオン交換樹脂を電極間にはさんで通水部を形成し、固体電解質として電解の促進を図る方法が用いられる。
関連製品
「電界イオン水洗浄」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「電界イオン水洗浄」に関連する用語が存在しません。
「電界イオン水洗浄」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
