半導体用語集
混流型クリーンルーム
英語表記：miXed flow clean room
一空間内に一方向流型が混在する形式のくリーンルーム。生産ライン上は一方向流型にして高清浄度を確保するが、それ以外の通路、サービスエリアなどは非一方向流型にして、設備費および運転費の低減を図る場合が多い。
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