半導体用語集
全自動引上システム
英語表記：fully autommatic growing system
チョクラルスキー装置による結晶製造において、一連の結晶成長工程全般にわたって、種々のセンサとコンピュータの能力を駆使した制御系を統合したシステム。自動操作にて結晶製造が可能になっている。
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