半導体用語集
コンピュータ支援故障解析手法
英語表記：CAFA : Computer Aided Failure Analysis
故障解析においても他の分野同様コンピュータが大いに利用されている。他の分野と共通に使われているもの以外で，特に故障解析用に開発され，現在までに有効性が示されているものを特にCAFAと呼んでいる。その主なものは次の三つに分類できる。
（1）LSIテスタでの測定結果と，設計データ(CADデータ）のみを用い故障発生箇所の追跡を行うCAFL（Computer Aided Fault Localization）：80年代から使われており，特に故障辞書を利用した方法が典型的なものである。
（2）EBテスタなどでの故障箇所絞り込みの際に補助的手段としでコンピュータを用いるもの：80年代後半にEBテスタがブラックボックスとして利用できるようになったころから使われるようになってきた。レイアウトと被観察箇所の位置対応をとるもの，それに回路構成との対応をとるもの，絞り込みのアルゴリズムを組み込んだもの，像や波形の自動比較を行うもの，さらには自動追跡を行うものなど，多くのバリエーションがある。
（3）エキスパートシステムを利用した故障解析：90年代に入ってから提案されているが，まだ一般的には普及していない。
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