半導体用語集
多重干渉効果 定在波効果
英語表記：multiple interference effect swing curve effect standing wave effect
露光時、レジスト膜への入射光とウェーハからの反射光が干渉し、定在波が発生する。この影響によりレジスト膜厚の変動に伴い、線幅が変動する現象。
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