半導体用語集
非弾性散乱過程
英語表記：non elastic dispersron process
気相において2個の粒子が衝突した時、衝突の前後において両者の運動工ネルギーの和が保存される場合を弾性散乱 (弾性衝突) という。 一方、衝突の前と後をくらべた時に運動エネルギーの和が保存されず、 粒子の内部エネルギーの変化を伴う場合、非弾性散乱 (非弾性衝突) という。 電子が原子や分子と高いエネルギーで衝突する時に非弾性散乱が起こる。 たとえは電子がアルゴンに衝突する時、エネルギーが11.53eVより低い場合は弾性散乱しか起きず、アルゴンの内部エネルギーは変わらない。しかし、それを越えるとアルゴンは電子からエネルギーをもらって基底状態から準安定状態や励起状態にあがる。 内部エネルギーの状態を決める主量子数が無限大の極限が電 離状態であり、アルゴンの場合は
15.75 eV以上のエネルギーで電子が衝突すると電離が起こり、1価の正イオンができる。 電子が分子に衝突する場合は、上記の励起や電離の他に解離も起こる。たとえば水素分子が解離する過程は、H2+e →H+H+eは8.8eV以上の衝突エネルギーで起こり、H2+e→H++H+2eは18.0eV 以上の時に起こる。
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