半導体用語集
チャンバ
英語表記：chamber vessel
結晶成長に際して外気遮断と雰囲気を保持するために設ける容器。構造上石英管を使用した自然空冷型のもの、ステンレス鋼で製作された水冷型のものではジャケット構造、鋼管巻き構造がある。
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技術／特許／M&A › 技術 › 半導体製造(プロセス、装置、材料など）
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半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › スパッタリング装置
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半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › エッチング装置 › その他
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