半導体用語集
有機金属CVD装置 MOCVD装置 OMCVD装置
英語表記：vertical low pressure CVD system
有機金属化合物の熱分解反応を利用して化合物半導体膜を作成するCVD装置。気相エピタキシャル成長法により化合物半導体単結晶を成長させるMOVPE装置とは区別されるが、装置構成上は類似点が多い。
関連製品
「有機金属CVD装置 MOCVD装置 OMCVD装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「有機金属CVD装置 MOCVD装置 OMCVD装置」に関連する用語が存在しません。
「有機金属CVD装置 MOCVD装置 OMCVD装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
