半導体用語集
PSL粒子 標準粒子
英語表記：polystylene latex particlestandard particle
自動微粒子計測器の校正に用いる標準粒子。極めて単分散に近い球形の粒子でポリスチレンラテックスの略称。各種粒子径のものが市販されており、液体微粒子カウンタ、光散乱式カウンタ及び表面付着粒子測定器等の校正に用いる。
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