半導体用語集
ダイバイダイティルト ダイバイダイレベリング
英語表記：die-by-die tiliting die-by-die leveling
ステップ式投影露光装置において、各ショット毎に行うウェーハティルト。主にウエーハの局所的なテーパ成分の除去を目的とする。
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