半導体用語集
原子層エピタキシャル成長装置 ALE装置
英語表記：atomic layer epitaxial growth system
原子層又は分子層を一層ずつ制御して成長させる装置。原子層制御の方法としては、タイミング法と飽和吸着法分類され、化合物半導体素子を極微細構造に作製し、量子効果を得るために用いられる。
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