半導体用語集
加工層
英語表記：work damage layer
Siウェーハ製造工程で、スライス、ラップなどの機械加工をすると、ウェーハの表面には非晶質層、多結晶質層、モザイク構造層などが発生し、それに伴い生じる有歪層のこと。これらの欠陥は除去が不十分だとデバイス製造工程での、結晶欠陥の発生原因になり得るため、常に注意が払われている。
関連製品
「加工層」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「加工層」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
