半導体用語集
ウェーハID
英語表記：wafer ID
ウェーハ1枚毎の認識のため、ウェーハに刻印または印刷された番号または記号。オリフラ部につけられることが多い。各装置でのウェーハ毎のデータ管理に使用される。
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