半導体用語集
TIR GFLR GF3R
英語表記：total indicator reading gloval front least-squares range gloval front three points range
吸着固定などにより、ウェーハ裏面を平面に矯正した状態にて、指定されたグローバル全面基準面でのFQA内のウェーハ表面高さの最大値と最小値の差。
SEMIでは、より詳細に定義しておりベストフィット基準面におけるTIRをGF3Rと呼ぶ。
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