半導体用語集
多層膜ミラー光学系
英語表記：multilayer mirror optics
二つの物質を交互に精度良く積層した多層膜ミラーからなる光学系。X線領域で高い反射率が得られ、縮小投影リソグラフィに用いられる。波長13nmで、MoとSiの多層膜ミラー系により50nmのL＆Sパターンが形成されている。
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