半導体用語集
フーリエ変換赤外分光法
英語表記：Fourier Transform Infra-Red Spectroscopy
赤外線の干渉光を試料に照射し、透過あるいは反射した干渉光をフーリエ変換（FT）して赤外スペクトルを得る測定方法。赤外スペクトルは主に振動スペクトルであり、OH、CH、NHなど化学結合の伸縮、変革の振動エネルギー準位間の遷移に対応する。これらの固有振動数は化学構造によって異なり、固有の吸収波長をもつことから、IR測定で物質が同定できる。特に、有機化合物の分析で使用される。透過測定だけでなく偏光反射測定（RAS）、多重全反射測定（ATR）、赤外顕微鏡などの測定方法がある。従来は、プリズムで赤外線を分光する装置が用いられていたが（分散型と呼ばれる）、フーリエ変換型は感度が高く測定時間も短くてすむことから、コンピュータの普及と共に急速に広まった。
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［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法
財団法人材料科学技術振興財団
分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体製造(プロセス、装置、材料など）
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