半導体用語集
コントラスト
英語表記：contrast
光学像において明暗の差をコントラストという。一般に繰り返しパターンでは、(Imax-Imin) / (Imax + Imin)の定義が用いられる。光学系の解像力を決定する重要な要因であり、R=λ/NA×ｋ(R:解像力、ｋ:プロセス係数)の関係(レイリーの式)がある。コントラストを改善するために、露光波長の短波長化、レンズの高NA化が有効である。縮小投影露光装置では、初期には波長436nmの水銀ランプの輝線スペクトルg線を露光光に用いたが、その後波長は365nmのi線から、 KrFエキシマレーザ光の248 nm、ArFの193nmへと短波長化されてきた。一方、初期にはNAは0.28程度であったものが、近年では0.7を超えるものもある。
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