半導体用語集
コントラスト
英語表記：contrast
光学像において明暗の差をコントラストという。一般に繰り返しパターンでは、 (Iₘₐₓ-Iₘᵢₙ)/(Iₘₐₓ+Iₘᵢₙ) の定義が用いられる。光学系の解像力を決定する重要な要因であり、R = λ/ NA×k（R : 解像力、k : プロセス係数）の関係（レイリーの式）がある。コントラストを改善するために、露光波長の短波長化、レンズの高NA化が有効である。縮小投影露光装置では、初期には波長436 nmの水銀ランプの輝線スペクトルg線を露光光に用いたが、その後波長は365 nmのi線から、KrFエキシマレーザ光の248 nm、ArFの193 nmへと短波長化されてきた。一方、初期にはNAは0.28程度であったものが、近年では0.7を超えるものもある。
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［SEM］走査電子顕微鏡法
財団法人材料科学技術振興財団
電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。
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