半導体用語集
小型リング
英語表記：compact ring
放射光を工業用として利用する目的、特に放射光リソグラフィをLSI製造工場に導入する目的で、開発された小型のシンクロトロン放射光リング。従来の放射光リングは加速エネルギーが高い反面 (GeVのオ-ダ)、サイズと価格が大きすぎて工業化に向かない難点があった。このため、小型リングは加速エネルギーを600～800MeV程度に抑えている。リングの小型化の鍵となる技術は、4T程度の高強度の磁場を発生させる電磁石の製造技術である。超伝導磁石を利用することにより高磁場が実現され、小型の放 射光リングの開発が加速された。また、最近では同程度の磁場を発生する常伝導磁石も開発されている。
NTT開発のSuper-ALISが世界で最初に発光した超伝導小型リングである。リングの周長は16.8mで、床面積が2.5X8.8m2である。その後、いくつかのメーカーから市販用のリングが開発された。その中で住友重機械工業のAURORAとオックスフォードインスツルメンツ(英国)のHELIOSは販売実績があり、良好に稼動している。これらの蓄積電流は 200～500mA程度であり、ほぼ満足できる値に近づいている。装置価格は量産効果が見込めないため、いまだ高価(10億から30億円)であるが、技術的にはほぼ完成の域に達している。
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