半導体用語集
過冷却度
英語表記:supercooling limit
結晶を成長させる場合、成長のための駆動力が必要である。成長の駆動力⊿μは母相の化学ポテンシャルμmと結晶相の化学ポテンシャルμcとの差で決定される。
⊿μ=μmμc
ここで、融液から結晶を成長させる場合は、融点Tm よりも低温に液温を保つと成長が起こる。融液からの結晶成長の場合は、過冷却度⊿T が成長の駆動力となる。
⊿T=TmーTα〉0
ここで、Tα は実際温度である。⊿T が 大きいほど、成長の駆動力が大きくなる。なお、⊿Tと⊿μとの関係は、
⊿μ=L⊿T/Tm
となる。ここでL は、原子1個当たりの融解潜熱である。
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