半導体用語集
粒度分布
英語表記：particle-size distribution
研磨材に含まれる砥粒粒子の粒径毎の含有割合を示したもの。研磨剤中の砥粒粒子は最小単位である1次粒子やそれらが複数凝集した2次粒子とからなる。粒子は粒径ばらつきを持っているため研磨剤の種類により特有の粒度分布が得られる。砥粒の凝集により粒子が粗大化すると表面粗さの劣化、研磨レートの変動やスクラッチの発生原因となる。この場合、粒度分布が変化するため、粒度分布を測定し研磨剤を管理することにより研磨の安定化および製品歩留まりの向上を図ることができる。また、研磨剤供給システムの最適化や研磨剤のリサイクル技術にも適用されている。
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