半導体用語集

ディップデベロッパ

英語表記:dip developer

現像液中にウェーハを浸漬させ、ウェーハを振動させるか又は現像液を撹拌させるかなどにより、均一な現像処理を行う装置。液温及び液濃度などの管理をすることにより、更に性能をアップするよう工夫されている。


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